d_sputter(nm)	Ndisl_sputter(cm-2)	d_MBE(nm)	Ndisl_MBE(cm-2)
10	4.95E13	51	2.7E12
12	3.82E13	60	5.8E12
51	2.77E13	143	1.3E12
54	9.3E12	--	--
--	--	--	--